日韩中文字幕hd-日韩中文字幕不卡-日韩中文字幕电影-日韩中文字幕电影网站-日韩中文字幕高清-日韩中文字幕高清一区-日韩中文字幕观看-日韩中文字幕精

技術文章

TECHNICAL ARTICLES

當前位置:首頁技術文章氫氣發生器在CVDMOCVD行業的運用

氫氣發生器在CVDMOCVD行業的運用

更新時間:2020-04-22點擊次數:4077
   氫氣在半導體行業中的應用
  半導體制造技術作為信息時代制造的基礎,堪比工業時代的機床,是整個社會發展的基石和原動力。在產業分工格局重塑的關鍵時期,我國也提出了《中國制造2025》,以通過智能制造實現由制造大國向制造強國的轉換。智能制造(工業4.0)的實現,以各種信息器件的使用為基礎,半導體制造技術正是其制造的核心技術。
  而氫氣作為半導體制造中的氣源,在半導體材料及器件制備中起到至關重要的作用。可在光電器件、傳感器、IC制造中應用。
  目前半導體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝。
  退火是通過高溫加熱釋放材料內部應力從而改善材料質量的一種材料處理辦法,氫氣作為保護氣可以起到防止氧化等作用,多用于薄膜生長后釋放應力。
  氫氣也可以應用在化學氣相沉積(ChemicalVaporDepositon)薄膜生長。化學氣相沉積是一種利用固態-氣態反應、氣態-氣態反應生成薄膜的設備,如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等;等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等;電子回旋共振化學氣相沉積(ECR-CVD)中作為反應氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜;金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時氫氣也可以在原子層沉積(AtomicLayerDeposition)中使用。
  氫氣在等離子體刻蝕(RIE/ICP)中作為反應氣體出現,等離子體刻蝕原理是利用反應氣體離化后與材料發生反應生成揮發性物質,從而實現材料圖形化,是半導體器件制備的*工藝。
  普拉勒氫氣發生器目前已大量應用在以上工藝中,為半導體材料及器件制備提供好的氣源。

掃一掃,添加微信

服務電話:

025-58868344 南京市江北新區麗景路51號明發銀河城1棟-1917、1918 njycf@ukpeculiar.com
Copyright © 2025英國普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司 All Rights Reserved  備案號:蘇ICP備17031188號-2
主站蜘蛛池模板: 午夜神马影院福利 | 成人欧美一区二区三区日本三及片 | 日本在线三级 | 国产美女激晴一二三四五区 | 日韩区欧美国产区在线 | 日韩欧美在线看片 | 日屄屄网| 淫秽在线视频 | 欧美精品一区二区在线 | 亚洲精品粉嫩小泬AV毛茸茸的 | 亚洲午夜成人影院 | 中文字幕一区二区视频 | 亚洲国产综合一区 | 国产精品喷潮在线观看 | 激情欧美一区二区三区小说 | 国产ts紫迹在线观看 | 欧美不卡视频一区发布 | 久久这里只有精品6 | 精品国精品国产自在线拍 | 一级一片在线播放在线观看 | 国产日B| 成人黄网站A片免费视频无码区 | 国产夫妻精品 | 一伦一性一配一交一强 | 国产综合亚洲欧美日韩一区二区 | 91短视频app免费 | 亚洲成a| 精品码产区一区二小说 | 91caocao| 成人动漫在线一区二区 | 91视频污版免费下载 | 亚洲中文制服 | 99精品在线观看亚天堂福 | 国产综合三级 | 国产国语普通话对白自拍片 | 人人干人人摸 | 尤物综合 | 午夜大片免费男女爽爽影 | 国产日韩欧美视频 | 亚洲欧美日韩另类精品一区二区三区 | 亚洲中文字幕永久网站 |